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亚愽体育|三安半导体项目芯片厂房封顶 可达“百级”洁净度
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三安半导体项目芯片厂可达到“百级”洁净度。科技日报记者于会友通讯员楚星科王力投资160亿元,占地1000亩的湖南省首个第三代半导体产业园,国内首个研发生产取得新进展全产业链碳化硅生产线。1月19日,记者从长沙高新区获悉,三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房封顶,占地面积23206平方米,建筑面积52326平方米米,以及16500平方米的大型钢屋顶面积。

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据建设方中建五局三公司介绍,该项目主要包括碳化硅生长、衬底、外延、芯片、器件封装等建设。车间及相关配套设施。项目全面建成投产后,将形成两条碳化硅研发生产全产业链生产线,生产可广泛应用于新能源的优质、低成本、高稳定性碳化产品车辆、高铁机车、航空航天和无线 5G 通信。硅基板和各种器件。

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项目建成后,预计实现年产值120亿元以上,上下游配套产业产值有望突破1000亿元。“该项目主要服务于技术密集型半导体行业,半导体生产对空气洁净度要求较高,此次在建的芯片厂已达到'百级'洁净度。

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”中建五局三公司项目负责人周翔说。so-c。led“百级”洁净度是指每立方英尺空气的粒径大于等于0。微米颗粒数不超过100个,可媲美最高级别的洁净度手术室标准。

项目技术负责人卢建振表示,芯片厂为保证“百级”洁净度,采用地板高精度施工,利用地板上的孔洞形成回风通道,建立洁净的空调和通风系统,形成回风通道。芯片厂晶圆板70cm厚,抗微震;晶圆板面积为1410平方米,其中浇注了35000根直径35厘米的奇石管,相当于每2平方米5根用于通风。圆孔。

届时,芯片生产线将布置在晶圆板上,整个车间都将使用fre。空气系统保证正压,通过晶圆板的回风通道排气,保证车间的清洁。编辑:张奥林。


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